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磁控濺射儀當然有輻射，
1、可見光波段：陰極發射的電子電離介質氣體分子，分子/原子光譜。這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼. 屬于無害輻射。
2、不可見光波段：陰極發射的電子電離介質氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。 紫外輻射有害
3、X射線：氣體電離后的離子，在陰極加快場作用，轟擊陰極靶材，作用區也比較復雜，除了完結離子刻蝕濺射以外，還有類似掃描電鏡類似的散射出現，如二次電子，二次離子，及各種射線輻射。在樣品端，電子會激宣布更多X射線，雖然磁控設備讓大部分電子行程增加，到達樣品其能量衰減近乎零，但會有一部分陰極電子或二次電子以zui大能量轟擊樣品，然后會有X射線發生，假如銜接類似掃描電鏡附件X射線能譜儀，你會發現驚喜！
至于這些X射線是否有害，一般來說，紫外粒子能量足以電離物質，磁控濺射儀作業電壓3000V，理論上zui大輻射能量3Kev, 這些輻射是相當危險的。
關于掃描電鏡樣品制備馳奔小型濺射儀來說，大多1000V以下作業電壓， 玻璃罩子可以有用阻遏紫外能量以上的高能射線，而可見光輻射對人底子無害。
而高能濺射儀，可獲得更高濺射功率和膜層牢固度，多選用不銹鋼作業首要室，除了可獲得超高真空以外，防護有害輻射才能更強。
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