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              西雙版納熱阻蒸發

              西雙版納熱阻蒸發

              • 所屬分類:西雙版納熱阻蒸發
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              • 發布日期:2020-08-07 15:39:04
              • 產品概述
              • 性能特點
              • 技術參數

              熱阻蒸發系統

              設備用途: 

              熱阻蒸發系統適用于制備金屬薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。

              設備組成:

              該設備主要由金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成??膳浜鲜痔紫浣M裝。

              技術參數:

              極限真空度≤6.6×10-5Pa;

              抽速:40分鐘可達到6×10-4Pa;

              熱阻蒸發組件:2套;

              有機蒸發束源爐組件:1套;

              樣品尺寸:φ100mm×1片;

              樣品臺溫度:300℃;

              分子泵系統:1套;

              膜厚監測儀(1個探頭):1套;

              冷卻水路系統:1套;

              自動控制系統:1套。

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